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यदि ईपीआई रिसीवर
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यदि ईपीआई रिसीवर

चीन की शीर्ष फैक्ट्री-वेटेक सेमीकंडक्टर सटीक मशीनिंग और सेमीकंडक्टर SiC और TaC कोटिंग क्षमताओं को जोड़ती है। बैरल प्रकार सी एपी ससेप्टर तापमान और वातावरण नियंत्रण क्षमताएं प्रदान करता है, जो सेमीकंडक्टर एपीटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं में उत्पादन दक्षता को बढ़ाता है। आपके साथ सहयोग संबंध स्थापित करने के लिए उत्सुक हूं।

निम्नलिखित उच्च गुणवत्ता वाले SI Epi Souscestor की शुरूआत है, जो आपको बैरल प्रकार SI EPI सूसोसेप्टर को बेहतर ढंग से समझने में मदद करने की उम्मीद है। बेहतर भविष्य बनाने के लिए हमारे साथ सहयोग जारी रखने के लिए नए और पुराने ग्राहकों का स्वागत करें!

एक एपिटैक्सियल रिएक्टर एक विशेष उपकरण है जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण में एपिटैक्सियल विकास के लिए किया जाता है। बैरल टाइप SI EPI Soucceptor एक ऐसा वातावरण प्रदान करता है जो वेफर सतह पर नए क्रिस्टल परतों को जमा करने के लिए तापमान, वातावरण और अन्य प्रमुख मापदंडों को नियंत्रित करता है।LPE SI EPI Susceptor Set


बैरल टाइप सी एपी ससेप्टर का मुख्य लाभ एक साथ कई चिप्स को संसाधित करने की क्षमता है, जिससे उत्पादन क्षमता बढ़ जाती है। इसमें आमतौर पर कई वेफर्स को रखने के लिए कई माउंट या क्लैंप होते हैं ताकि एक ही विकास चक्र में एक ही समय में कई वेफर्स उगाए जा सकें। यह उच्च थ्रूपुट सुविधा उत्पादन चक्र और लागत को कम करती है और उत्पादन दक्षता में सुधार करती है।


इसके अलावा, बैरल टाइप एसआई ईपीआई सूसोसेप्टर अनुकूलित तापमान और वातावरण नियंत्रण प्रदान करता है। यह एक उन्नत तापमान नियंत्रण प्रणाली से लैस है जो वांछित विकास तापमान को ठीक से नियंत्रित करने और बनाए रखने में सक्षम है। इसी समय, यह अच्छा वातावरण नियंत्रण प्रदान करता है, यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक चिप एक ही वातावरण की स्थिति में उगाई जाती है। यह एकसमान एपिटैक्सियल लेयर ग्रोथ को प्राप्त करने और एपिटैक्सियल लेयर की गुणवत्ता और स्थिरता में सुधार करने में मदद करता है।


बैरल प्रकार SI EPI सूसोसेप्टर में, चिप आमतौर पर हवा के प्रवाह या तरल प्रवाह के माध्यम से समान तापमान वितरण और गर्मी हस्तांतरण को प्राप्त करता है। यह समान तापमान वितरण गर्म स्थानों और तापमान ग्रेडिएंट के गठन से बचने में मदद करता है, जिससे एपिटैक्सियल परत की एकरूपता में सुधार होता है।


एक अन्य लाभ यह है कि बैरल टाइप सी एपी ससेप्टर लचीलापन और स्केलेबिलिटी प्रदान करता है। इसे विभिन्न एपिटैक्सियल सामग्रियों, चिप आकार और विकास मापदंडों के लिए समायोजित और अनुकूलित किया जा सकता है। यह शोधकर्ताओं और इंजीनियरों को विभिन्न अनुप्रयोगों और आवश्यकताओं की एपिटैक्सियल विकास आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए तेजी से प्रक्रिया विकास और अनुकूलन करने में सक्षम बनाता है।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
सीवीडी SiC कोटिंग घनत्व 3.21 ग्राम/सेमी।
Sic कोटिंग कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार 2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
ताप की गुंजाइश 640 जे·किग्रा-1· K-1
उच्चता तापमान 2700 ℃
आनमनी सार्मथ्य 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक 430 GPA 4pt बेंड, 1300 ℃
ऊष्मीय चालकता 300W·m-1· K-1
थर्मल विस्तार 4.5 × 10-6K-1


यह अर्धचालक यदि ईपीआई रिसीवरउत्पादन की दुकान

Si EPI Susceptor


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