SiC लेपित वेफर वाहक

चिप निर्माण वेफर्स से अविभाज्य है। वेफर तैयारी प्रक्रिया में, दो मुख्य लिंक हैं: एक सब्सट्रेट की तैयारी है, और दूसरा एपिटैक्सियल प्रक्रिया का कार्यान्वयन है। सब्सट्रेट को सीधे अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन करने के लिए वेफर विनिर्माण प्रक्रिया में रखा जा सकता है, या आगे के माध्यम से बढ़ाया जा सकता हैएपिटैक्सियल प्रक्रिया। 

एपिटैक्सी एक एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट पर एकल क्रिस्टल की एक नई परत विकसित करना है जिसे बारीक संसाधित किया गया है (काटना, पीसना, पॉलिश करना, आदि)। क्योंकि नव विकसित एकल क्रिस्टल परत सब्सट्रेट के क्रिस्टल चरण के अनुसार विस्तारित होगी, इसे एपिटैक्सियल परत कहा जाता है। जब एपिटैक्सियल परत सब्सट्रेट पर बढ़ती है, तो पूरे को एपिटैक्सियल वेफर कहा जाता है। एपिटैक्सियल तकनीक की शुरूआत एकल सब्सट्रेट्स के कई दोषों को चतुराई से हल करती है।

एपिटैक्सियल ग्रोथ भट्टी में, सब्सट्रेट को यादृच्छिक रूप से नहीं रखा जा सकता है, और एवफ़र वाहकसब्सट्रेट पर एपिटैक्सियल जमाव करने से पहले सब्सट्रेट को वेफर होल्डर पर रखना आवश्यक है। यह वेफर धारक SiC लेपित वेफर वाहक है।

ईपीआई रिएक्टर का क्रॉस-सेक्शनल दृश्य

एक उच्च गुणवत्तासीसी कोटिंगसीवीडी तकनीक का उपयोग करके एसजीएल ग्रेफाइट की सतह पर लागू होता है:

एसआईसी कोटिंग की मदद से, के कई गुणSic लेपित वेफर धारककाफी सुधार किया गया है:

● एंटीऑक्सीडेंट गुण: SiC कोटिंग में अच्छा ऑक्सीकरण प्रतिरोध होता है और यह ग्रेफाइट मैट्रिक्स को उच्च तापमान पर ऑक्सीकरण से बचा सकता है और इसकी सेवा जीवन को बढ़ा सकता है।

●  उच्च तापमान प्रतिरोध: एसआईसी कोटिंग का पिघलने बिंदु बहुत अधिक है (लगभग 2700 डिग्री सेल्सियस)। ग्रेफाइट मैट्रिक्स में एसआईसी कोटिंग को जोड़ने के बाद, यह उच्च तापमान का सामना कर सकता है, जो एपिटैक्सियल ग्रोथ फर्नेस वातावरण में आवेदन करने के लिए फायदेमंद है।

● जंग प्रतिरोध: ग्रेफाइट कुछ अम्लीय या क्षारीय वातावरण में रासायनिक संक्षारण के लिए प्रवण होता है, जबकि SiC कोटिंग में एसिड और क्षार संक्षारण के लिए अच्छा प्रतिरोध होता है, इसलिए इसका उपयोग लंबे समय तक एपिटैक्सियल विकास भट्टियों में किया जा सकता है।

● प्रतिरोध पहनें: SIC सामग्री में उच्च कठोरता होती है। ग्रेफाइट को एसआईसी के साथ लेपित होने के बाद, यह आसानी से क्षतिग्रस्त नहीं होता है जब एक एपिटैक्सियल ग्रोथ भट्टी में उपयोग किया जाता है, तो सामग्री पहनने की दर को कम करता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर उद्योग-अग्रणी एसआईसी कोटेड वेफर वाहक उत्पादों के साथ ग्राहकों को प्रदान करने के लिए सबसे अच्छी सामग्री और सबसे उन्नत प्रसंस्करण तकनीक का उपयोग करता है। वेटेक सेमीकंडक्टर की मजबूत तकनीकी टीम हमेशा सबसे उपयुक्त उत्पादों और ग्राहकों के लिए सर्वश्रेष्ठ सिस्टम समाधानों को सिलाई करने के लिए प्रतिबद्ध है।

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