सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड मुख्य रूप से एसआईसी से बना है। अर्धचालक प्रसंस्करण में, सिलिकॉन कार्बाइड शॉवर हेड का मुख्य कार्य एक समान फिल्म के गठन को सुनिश्चित करने के लिए समान रूप से प्रतिक्रिया गैस को वितरित करना हैरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)याभौतिक वाष्प जमावप्रक्रियाएं। उच्च तापीय चालकता और रासायनिक स्थिरता जैसे एसआईसी के उत्कृष्ट गुणों के कारण, एसआईसी शावर हेड उच्च तापमान पर कुशलता से काम कर सकता है, के दौरान गैस के प्रवाह की असमानता को कम कर सकता हैजमाव प्रक्रिया, और इस तरह फिल्म परत की गुणवत्ता में सुधार।

सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड समान रूप से एक ही एपर्चर के साथ कई नलिका के माध्यम से प्रतिक्रिया गैस को वितरित कर सकता है, समान गैस प्रवाह सुनिश्चित करता है, स्थानीय सांद्रता से बचें जो बहुत अधिक या बहुत कम हैं, और इस प्रकार फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करते हैं। उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता के साथ संयुक्तसीवीडी एसआईसी, किसी भी कण या दूषित पदार्थों के दौरान जारी नहीं किया जाता हैफिल्म जमाव की प्रक्रिया, जो फिल्म बयान की शुद्धता को बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण है।

कोर प्रदर्शन मैट्रिक्स

प्रमुख संकेतक तकनीकी विनिर्देश परीक्षण मानकों

आधार सामग्री 6 एन ग्रेड केमिकल वाष्प जमाव सिलिकॉन कार्बाइड सेमी F47-0703

थर्मल चालकता (25 ℃) 330 w/(m · k) ± 5%ASTM E1461

ऑपरेटिंग तापमान रेंज -196 ℃ ~ 1650 ℃ चक्र स्थिरता MIL-STD-883 विधि

एपर्चर मशीनिंग सटीकता ± 0.005 मिमी (लेजर माइक्रोहोल मशीनिंग प्रौद्योगिकी) आईएसओ 286-2

भूतल खुरदरापन आरए .00.05μM (मिरर ग्रेड उपचार) JIS B 0601: 2013

ट्रिपल प्रक्रिया नवाचार लाभ

नैनोस्केल एयरफ्लो नियंत्रण

1080 होल मैट्रिक्स डिजाइन: 95.7% गैस वितरण एकरूपता (मापा डेटा) प्राप्त करने के लिए असममित हनीकॉम्ब संरचना को अपनाता है

ग्रेडिएंट एपर्चर तकनीक: 0.35 मिमी बाहरी रिंग → 0.2 मिमी केंद्र प्रगतिशील लेआउट, किनारे प्रभाव को समाप्त करना

शून्य संदूषण जमा संरक्षण

अल्ट्रा-क्लीन सरफेस ट्रीटमेंट:

आयन बीम नक़्क़ाशी उपसतह क्षतिग्रस्त परत को हटा देता है

परमाणु परत जमाव (ALD) AL₂O, सुरक्षात्मक फिल्म (वैकल्पिक)

थर्मल यांत्रिक स्थिरता

थर्मल विरूपण गुणांक: .80.8μM/m · · (पारंपरिक सामग्री की तुलना में 73% कम)

3000 थर्मल शॉक टेस्ट पास किया (RT↔1450) चक्र)

का SEM डेटाCvd sic फिल्म क्रिस्टल संरचना：

सीवीडी के बुनियादी भौतिक गुण सीसी कोटिंग：

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड शॉप्स ：