एकल वेफर एपि ग्रेफाइट अंडरटेकर

विवरण:

सिंगल वेफर एपि ग्रेफाइट सूसप्लेर में ग्रेफाइट ट्रे, ग्रेफाइट रिंग और अन्य सामान का एक सेट शामिल है, उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट + वाष्प जमाव सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग समग्र संरचना का उपयोग करते हुए, उच्च तापमान स्थिरता, रासायनिक जड़ता और थर्मल क्षेत्र एकरूपता को ध्यान में रखते हुए। यह बड़े पैमाने पर उत्पादन में उच्च परिशुद्धता एपिटैक्सियल शीट का मुख्य असर घटक है।

सामग्री नवाचार: ग्रेफाइट +sic कोटिंग

सीसा

● अल्ट्रा-हाई थर्मल चालकता (> 130 w/m · k), तापमान नियंत्रण आवश्यकताओं के लिए तेजी से प्रतिक्रिया, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक (CTE: 4.6 × 10⁻⁶/° C), उच्च तापमान विरूपण को कम करें, सेवा जीवन को लम्बा करें।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग

● संक्षारण प्रतिरोध। H₂, HCL, और SIH₄ जैसे प्रतिक्रिया गैसों द्वारा हमले का विरोध करें। यह आधार सामग्री के वाष्पीकरण द्वारा एपिटैक्सियल परत के संदूषण से बचता है।

● सतह घनत्व: कोटिंग पोरसिटी 0.1%से कम है, जो ग्रेफाइट और वेफर के बीच संपर्क को रोकता है और कार्बन अशुद्धियों के प्रसार को रोकता है।

● उच्च तापमान सहिष्णुता: 1600 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के वातावरण में दीर्घकालिक स्थिर कार्य, एसआईसी एपिटैक्सी की उच्च तापमान मांग के अनुकूल है।

थर्मल फ़ील्ड और एयरफ्लो अनुकूलन डिजाइन

समान थर्मल विकिरण संरचना

Soucceptor सतह को कई थर्मल रिफ्लेक्शन ग्रूव्स के साथ डिज़ाइन किया गया है, और ASM डिवाइस का थर्मल फील्ड कंट्रोल सिस्टम, 1.5 ° C (6-इंच वेफर, 8-इंच वेफर) के भीतर तापमान एकरूपता को प्राप्त करता है, जो कि एपिटैक्सियल लेयर मोटाई (उतार-चढ़ाव <3%) की स्थिरता और एकरूपता सुनिश्चित करता है।

वायु -संचालन तकनीक

एज डायवर्सन होल और इच्छुक समर्थन कॉलम वेफर सतह पर प्रतिक्रिया गैस के लामिनार प्रवाह वितरण को अनुकूलित करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, एडी धाराओं के कारण बयान दर में अंतर को कम करते हैं, और डोपिंग एकरूपता में सुधार करते हैं।