वीको मोकवीडी प्रोविडेंस

यह अर्धचालक हैवीको मोक्व्डवेफर सूससेप्टर एक महत्वपूर्ण घटक है, सावधानीपूर्वक एक साथ अल्ट्रापुर ग्रेफाइट का उपयोग करके इंजीनियर किया जाता हैसिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कोटिंग। यहसीसी कोटिंगकई लाभ प्रदान करता है, सबसे विशेष रूप से सब्सट्रेट में कुशल थर्मल ट्रांसफर को सक्षम करता है। सब्सट्रेट में इष्टतम थर्मल वितरण प्राप्त करना समान तापमान नियंत्रण के लिए आवश्यक है, जो लगातार, उच्च-गुणवत्ता वाली पतली-फिल्म बयान सुनिश्चित करता है, जो अर्धचालक डिवाइस निर्माण में महत्वपूर्ण है।

तकनीकी मापदंड

भौतिक गुणों का मैट्रिक्स

प्रमुख संकेतक वेटेक मानक पारंपरिक समाधान

आधार सामग्री शुद्धता 6 एन आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट 5 एन ढाला ग्रेफाइट

CTE मैचिंग डिग्री (25-1400 ℃) −α × 0.3 × 10⁻⁶/ k Δα .21.2 × 10⁻⁶/ k

थर्मल चालकता @800 ℃ 110 w/m · k 85 w/m · k

भूतल खुरदरापन (आरए) .10.1μm μ0.5μM

एसिड सहिष्णुता (ph = 1@80 ℃) 1500 चक्र 300 चक्र

मुख्य लाभ पुनर्निर्माण

थर्मल प्रबंधन नवाचार

परमाणु सीटीई मिलान तकनीक

जापान टॉयो कार्बन ग्रेफाइट/एसजीएल सब्सट्रेट + ग्रेडिएंट एसआईसी कोटिंग

थर्मल चक्र तनाव 82% से कम हो गया (मापा गया 1400 ofrt 500 चक्र बिना दरार के)

बुद्धिमान थर्मल फील्ड डिजाइन

12-ज़ोन तापमान मुआवजा संरचना: φ200 मिमी वेफर की सतह पर ± 0.5 ℃ एकरूपता प्राप्त करता है

गतिशील थर्मल प्रतिक्रिया: तापमान ढाल ≤1.2 ℃/सेमी 5 ℃/s हीटिंग दर पर

रासायनिक संरक्षण तंत्र
ट्रिपल समग्र बाधा

50μm घने sic मुख्य सुरक्षात्मक परत

नैनोटैक संक्रमण परत (वैकल्पिक)

गैस चरण घुसपैठ घनत्व

ASTM G31-21 द्वारा सत्यापित:

सीएल बेस संक्षारण दर <0.003 मिमी/वर्ष

एनएच 3 अनाज सीमा संक्षारण के बिना 1000h के लिए उजागर हुआ

बुद्धिमान विनिर्माण तंत्र

डिजिटल ट्विन प्रोसेसिंग

पांच-अक्ष मशीनिंग केंद्र: स्थिति सटीकता μ 1.5μm

ऑनलाइन 3 डी स्कैनिंग निरीक्षण: 100% पूर्ण आकार का सत्यापन (ASME Y14.5 के अनुसार)

परिदृश्य-आधारित मूल्य प्रस्तुति

तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक जन उत्पादन

अनुप्रयोग परिदृश्य प्रक्रिया पैरामीटर ग्राहक लाभ

GAN HEMT 6 इंच /150μM एपिटैक्सियल दो-आयामी इलेक्ट्रॉन गैस घनत्व में उतार-चढ़ाव <2%

Sic mosfet c doping एकरूपता old 3% दहलीज वोल्टेज विचलन 40% तक कम हो गया है

माइक्रो एलईडी तरंग दैर्ध्य एकरूपता ± 1.2NM चिप बिन दर में 15% की वृद्धि हुई

रखरखाव लागत अनुकूलन

सफाई की अवधि को 3 बार बढ़ाया जाता है: HF: HNO ₃ = 1: 3 उच्च तीव्रता की सफाई का समर्थन किया जाता है

स्पेयर पार्ट्स लाइफ प्रेडिक्शन सिस्टम: एआई एल्गोरिथ्म सटीकता ± 5%

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