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PECVD के लिए ग्रेफाइट नाव

PECVD के लिए ग्रेफाइट नाव

पीईसीवीडी के लिए वेटेक्सेमिकॉन ग्रेफाइट नाव उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से सटीक रूप से तैयार की गई है और विशेष रूप से प्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन की गई है। अर्धचालक थर्मल क्षेत्र सामग्री और सटीक मशीनिंग क्षमताओं की हमारी गहरी समझ का लाभ उठाते हुए, हम असाधारण थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट चालकता और लंबी सेवा जीवन के साथ ग्रेफाइट नौकाएं प्रदान करते हैं। इन नौकाओं को मांग वाले पीईसीवीडी प्रक्रिया वातावरण में प्रत्येक वेफर पर अत्यधिक समान पतली फिल्म जमाव सुनिश्चित करने, प्रक्रिया उपज और उत्पादकता में सुधार करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
सीवीडी टैसी लेपित ग्रेफाइट रिंग

सीवीडी टैसी लेपित ग्रेफाइट रिंग

वेटेक्सेमिकॉन द्वारा सीवीडी टैसी कोटेड ग्रेफाइट रिंग को सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण की अत्यधिक मांगों को पूरा करने के लिए इंजीनियर किया गया है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) तकनीक का उपयोग करते हुए, उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट्स पर एक घनी और समान टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग लागू की जाती है, जो असाधारण कठोरता, पहनने के प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता को प्राप्त करती है। सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन में, सीवीडी टीएसी कोटेड ग्रेफाइट रिंग का व्यापक रूप से एमओसीवीडी, नक़्क़ाशी, प्रसार और एपिटैक्सियल ग्रोथ चैंबर्स में उपयोग किया जाता है, जो वेफर कैरियर्स, ससेप्टर्स और शील्डिंग असेंबली के लिए एक प्रमुख संरचनात्मक या सीलिंग घटक के रूप में कार्य करता है। आपके आगे के परामर्श की प्रतीक्षा में हूं।
झरझरा TaC लेपित ग्रेफाइट अंगूठी

झरझरा TaC लेपित ग्रेफाइट अंगूठी

VETEK द्वारा निर्मित झरझरा TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग एक हल्के झरझरा ग्रेफाइट सब्सट्रेट का उपयोग करती है और इसे उच्च शुद्धता वाले टैंटलम कार्बाइड कोटिंग के साथ लेपित किया जाता है, जिसमें उच्च तापमान, संक्षारक गैसों और प्लाज्मा क्षरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध होता है।
वेफर प्रसंस्करण के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल

वेफर प्रसंस्करण के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल

वेटेक्सेमिकॉन के सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल को सेमीकंडक्टर निर्माण में उन्नत वेफर प्रसंस्करण के लिए इंजीनियर किया गया है। उच्च शुद्धता वाले SiC से बना, यह उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, बेहतर यांत्रिक शक्ति और उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करता है। ये सुविधाएँ सटीक वेफर हैंडलिंग, विस्तारित सेवा जीवन और एमओसीवीडी, एपिटेक्सी और प्रसार जैसी प्रक्रियाओं में विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करती हैं। परामर्श के लिए आपका स्वागत है.
वेफर के लिए SiC सिरेमिक वैक्यूम चक

वेफर के लिए SiC सिरेमिक वैक्यूम चक

वेफर के लिए वेटेक्सेमिकॉन SiC सिरेमिक वैक्यूम चक को सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण में असाधारण सटीकता और विश्वसनीयता प्रदान करने के लिए इंजीनियर किया गया है। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड से निर्मित, यह उत्कृष्ट तापीय चालकता, रासायनिक प्रतिरोध और बेहतर यांत्रिक शक्ति सुनिश्चित करता है, जो इसे नक़्क़ाशी, जमाव और लिथोग्राफी जैसे मांग वाले अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाता है। इसकी अल्ट्रा-सपाट सतह स्थिर वेफर समर्थन, दोषों को कम करने और प्रक्रिया उपज में सुधार की गारंटी देती है। यह वैक्यूम चक उच्च-प्रदर्शन वेफर हैंडलिंग के लिए विश्वसनीय विकल्प है।
सॉलिड SiC फोकस रिंग

सॉलिड SiC फोकस रिंग

वेटेक्सेमी सॉलिड SiC फोकस रिंग वेफर किनारे पर विद्युत क्षेत्र और वायु प्रवाह को सटीक रूप से नियंत्रित करके नक़्क़ाशी की एकरूपता और प्रक्रिया स्थिरता में काफी सुधार करती है। इसका व्यापक रूप से सिलिकॉन, डाइइलेक्ट्रिक्स और मिश्रित अर्धचालक सामग्रियों के लिए सटीक नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, और बड़े पैमाने पर उत्पादन उपज और दीर्घकालिक विश्वसनीय उपकरण संचालन सुनिश्चित करने के लिए एक महत्वपूर्ण घटक है।
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