सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी

उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी की तैयारी उन्नत प्रौद्योगिकी और उपकरण और उपकरण सामान पर निर्भर करती है। वर्तमान में, सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी ग्रोथ विधि रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) है। इसमें एपिटैक्सियल फिल्म मोटाई और डोपिंग एकाग्रता, कम दोष, मध्यम विकास दर, स्वचालित प्रक्रिया नियंत्रण, आदि के सटीक नियंत्रण के फायदे हैं, और एक विश्वसनीय तकनीक है जिसे सफलतापूर्वक व्यावसायिक रूप से लागू किया गया है।

सिलिकॉन कार्बाइड सीवीडी एपिटैक्सी आम तौर पर गर्म दीवार या गर्म दीवार सीवीडी उपकरण को अपनाता है, जो उच्च विकास तापमान की स्थिति (1500 ~ 1700 ℃) के तहत एपिटैक्सी लेयर 4 एच क्रिस्टलीय एसआईसी की निरंतरता को सुनिश्चित करता है, गर्म दीवार या गर्म दीवार सीवीडी विकास के वर्षों के बाद, इनलेट एयर फ्लो डायरेक्शन के अनुसार, रेपोलॉर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैंबर्ट इन्स।

एसआईसी एपिटैक्सियल भट्टी की गुणवत्ता के लिए तीन मुख्य संकेतक हैं, पहला एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रदर्शन है, जिसमें मोटाई एकरूपता, डोपिंग एकरूपता, दोष दर और विकास दर शामिल हैं; दूसरा उपकरण का तापमान प्रदर्शन है, जिसमें हीटिंग/कूलिंग दर, अधिकतम तापमान, तापमान एकरूपता शामिल हैं; अंत में, उपकरणों का लागत प्रदर्शन, जिसमें एकल इकाई की कीमत और क्षमता शामिल है।

तीन प्रकार के सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ भट्टी और कोर एक्सेसरीज़ अंतर

गर्म दीवार क्षैतिज CVD (LPE कंपनी के विशिष्ट मॉडल PE1O6), गर्म दीवार ग्रह CVD (विशिष्ट मॉडल AIXTRON G5WWC/G10) और Quasi-Hot Wall CVD (Nuflare कंपनी के Epirevos6 द्वारा प्रतिनिधित्व) मुख्य रूप से एपिटैक्सियल उपकरण तकनीकी समाधान हैं जो इस मंडली में हैं। तीन तकनीकी उपकरणों की अपनी विशेषताएं भी हैं और उन्हें मांग के अनुसार चुना जा सकता है। उनकी संरचना इस प्रकार दिखाया गया है:

Mocvd एपिटैक्सियल वेफर प्रदान करता है

Vetek सेमीकंडक्टर लंबे समय से अर्धचालक एपिटैक्सियल ग्रोथ इंडस्ट्री में लगे हुए हैं और MOCVD एपिटैक्सियल वेफर सूसोसेप्टर उत्पादों में समृद्ध अनुभव और प्रक्रिया कौशल हैं। आज, वेटेक सेमीकंडक्टर चीन के प्रमुख MOCVD एपिटैक्सियल वेफर सूसोसेप्टर निर्माता और आपूर्तिकर्ता बन गए हैं, और जो वेफर सेंसेसर्स यह प्रदान करता है, उसने GAN एपिटैक्सियल वेफर्स और अन्य उत्पादों के निर्माण में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाई है।

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ऊर्ध्वाधर भट्ठी sic कोटेड अंगूठी

वर्टिकल फर्नेस SiC कोटेड रिंग एक घटक है जिसे विशेष रूप से वर्टिकल फर्नेस के लिए डिज़ाइन किया गया है। VeTek सेमीकंडक्टर सामग्री और विनिर्माण प्रक्रियाओं दोनों के मामले में आपके लिए सर्वोत्तम कार्य कर सकता है। चीन में वर्टिकल फर्नेस SiC कोटेड रिंग के अग्रणी निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, VeTek सेमीकंडक्टर को विश्वास है कि हम आपको सर्वोत्तम उत्पाद और सेवाएँ प्रदान कर सकते हैं।

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SiC लेपित वेफर वाहक

चीन में अग्रणी SiC कोटेड वेफर कैरियर आपूर्तिकर्ता और निर्माता के रूप में, VeTek सेमीकंडक्टर का SiC कोटेड वेफर कैरियर उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेफाइट और CVD SiC कोटिंग से बना है, जिसमें सुपर स्थिरता है और अधिकांश एपिटैक्सियल रिएक्टरों में लंबे समय तक काम कर सकता है। VeTek सेमीकंडक्टर में उद्योग की अग्रणी प्रसंस्करण क्षमताएं हैं और यह SiC लेपित वेफर कैरियर के लिए ग्राहकों की विभिन्न अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर आपके साथ दीर्घकालिक सहयोगात्मक संबंध स्थापित करने और साथ मिलकर आगे बढ़ने के लिए तत्पर है।

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सीवीडी एसआईसी कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर

Vetek सेमीकंडक्टर का CVD SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर एक सटीक-इंजीनियर टूल है जिसे सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग और प्रोसेसिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर पतली फिल्मों, एपिलैयर्स और अन्य कोटिंग्स के विकास को बढ़ावा देने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और तापमान और भौतिक गुणों को ठीक से नियंत्रित कर सकता है। आपकी आगे की पूछताछ में आपका स्वागत है।

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Cvd sic कोटिंग रिंग

CVD SIC कोटिंग रिंग हाफमून भागों के महत्वपूर्ण भागों में से एक है। अन्य भागों के साथ, यह SIC एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्शन चैंबर बनाता है। वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर सीवीडी एसआईसी कोटिंग रिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। ग्राहक की डिजाइन आवश्यकताओं के अनुसार, हम सबसे अधिक प्रतिस्पर्धी मूल्य पर संबंधित CVD SIC कोटिंग रिंग प्रदान कर सकते हैं। वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर है।

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SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागों

एक पेशेवर सेमीकंडक्टर निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर SiC एपिटैक्सियल ग्रोथ सिस्टम के लिए आवश्यक विभिन्न प्रकार के ग्रेफाइट घटक प्रदान कर सकता है। ये SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट पार्ट्स एपिटैक्सियल रिएक्टर के गैस इनलेट सेक्शन के लिए डिज़ाइन किए गए हैं और सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया को अनुकूलित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। VeTek सेमीकंडक्टर हमेशा ग्राहकों को सबसे अधिक प्रतिस्पर्धी कीमतों पर सर्वोत्तम गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने का प्रयास करता है। VeTek सेमीकंडक्टर चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर है।

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Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।