सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी

उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी की तैयारी उन्नत प्रौद्योगिकी और उपकरण और उपकरण सामान पर निर्भर करती है। वर्तमान में, सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी ग्रोथ विधि रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) है। इसमें एपिटैक्सियल फिल्म मोटाई और डोपिंग एकाग्रता, कम दोष, मध्यम विकास दर, स्वचालित प्रक्रिया नियंत्रण, आदि के सटीक नियंत्रण के फायदे हैं, और एक विश्वसनीय तकनीक है जिसे सफलतापूर्वक व्यावसायिक रूप से लागू किया गया है।

सिलिकॉन कार्बाइड सीवीडी एपिटैक्सी आम तौर पर गर्म दीवार या गर्म दीवार सीवीडी उपकरण को अपनाता है, जो उच्च विकास तापमान की स्थिति (1500 ~ 1700 ℃) के तहत एपिटैक्सी लेयर 4 एच क्रिस्टलीय एसआईसी की निरंतरता को सुनिश्चित करता है, गर्म दीवार या गर्म दीवार सीवीडी विकास के वर्षों के बाद, इनलेट एयर फ्लो डायरेक्शन के अनुसार, रेपोलॉर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैम्बर, रिएक्शन चैंबर्ट इन्स।

एसआईसी एपिटैक्सियल भट्टी की गुणवत्ता के लिए तीन मुख्य संकेतक हैं, पहला एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रदर्शन है, जिसमें मोटाई एकरूपता, डोपिंग एकरूपता, दोष दर और विकास दर शामिल हैं; दूसरा उपकरण का तापमान प्रदर्शन है, जिसमें हीटिंग/कूलिंग दर, अधिकतम तापमान, तापमान एकरूपता शामिल हैं; अंत में, उपकरणों का लागत प्रदर्शन, जिसमें एकल इकाई की कीमत और क्षमता शामिल है।

तीन प्रकार के सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ भट्टी और कोर एक्सेसरीज़ अंतर

गर्म दीवार क्षैतिज CVD (LPE कंपनी के विशिष्ट मॉडल PE1O6), गर्म दीवार ग्रह CVD (विशिष्ट मॉडल AIXTRON G5WWC/G10) और Quasi-Hot Wall CVD (Nuflare कंपनी के Epirevos6 द्वारा प्रतिनिधित्व) मुख्य रूप से एपिटैक्सियल उपकरण तकनीकी समाधान हैं जो इस मंडली में हैं। तीन तकनीकी उपकरणों की अपनी विशेषताएं भी हैं और उन्हें मांग के अनुसार चुना जा सकता है। उनकी संरचना इस प्रकार दिखाया गया है:

Cvd sic कोटिंग नोजल

सीवीडी एसआईसी कोटिंग नोजल सेमीकंडक्टर विनिर्माण के दौरान सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री जमा करने के लिए एलपीई एसआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया में उपयोग किए जाने वाले महत्वपूर्ण घटक हैं। ये नलिका आमतौर पर कठोर प्रसंस्करण वातावरण में स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान और रासायनिक रूप से स्थिर सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री से बने होते हैं। एकसमान बयान के लिए डिज़ाइन किया गया, वे अर्धचालक अनुप्रयोगों में उगाई गई एपिटैक्सियल परतों की गुणवत्ता और एकरूपता को नियंत्रित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। आपकी आगे की जांच में आपका स्वागत है।

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सीवीडी एसआईसी कोटिंग रक्षक

वेटेक सेमीकंडक्टर के सीवीडी एसआईसी कोटिंग रक्षक का उपयोग एलपीई एसआईसी एपिटैक्सी है, शब्द "एलपीई" आमतौर पर कम दबाव वाले रासायनिक वाष्प स्थगन (एलपीसीवीडी) में कम दबाव वाले एपिटैक्सी (एलपीई) को संदर्भित करता है। अर्धचालक विनिर्माण में, एलपीई एकल क्रिस्टल पतली फिल्मों को बढ़ाने के लिए एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया प्रौद्योगिकी है, जिसका उपयोग अक्सर सिलिकॉन एपिटैक्सियल लेयर्स या अन्य सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल लेयर्स को विकसित करने के लिए किया जाता है। अधिक सवालों के लिए हमसे संपर्क करने में कोई संकोच नहीं करता है।

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Sic कोटेड पेडस्टल

वेटेक सेमीकंडक्टर CVD SiC कोटिंग, ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री पर TaC कोटिंग बनाने में पेशेवर है। हम SiC कोटेड पेडस्टल, वेफर कैरियर, वेफर चक, वेफर कैरियर ट्रे, प्लैनेटरी डिस्क इत्यादि जैसे OEM और ODM उत्पाद प्रदान करते हैं। 1000 ग्रेड स्वच्छ कमरे और शुद्धिकरण उपकरण के साथ, हम आपको 5ppm से कम अशुद्धता वाले उत्पाद प्रदान कर सकते हैं। सुनने के लिए उत्सुक तुम से शीघ्र ही।

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SiC कोटिंग इनलेट रिंग

Vetek सेमीकंडक्टर विशिष्ट जरूरतों के अनुरूप Sic कोटिंग इनलेट रिंग के लिए Bespoke डिजाइन को शिल्प करने के लिए ग्राहकों के साथ निकटता से सहयोग करने में उत्कृष्टता प्राप्त करता है। ये SIC कोटिंग इनलेट रिंग CVD SIC उपकरण और सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी जैसे विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए सावधानीपूर्वक इंजीनियर हैं। सिलवाया एसआईसी कोटिंग इनलेट रिंग सॉल्यूशंस के लिए, व्यक्तिगत सहायता के लिए वेटेक सेमीकंडक्टर तक पहुंचने में संकोच न करें।

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प्री-हीट रिंग

वेफर्स को पहले से गर्म करने और वेफर्स के तापमान को अधिक स्थिर और समान बनाने के लिए सेमीकंडक्टर एपिटेक्सी प्रक्रिया में प्री-हीट रिंग का उपयोग किया जाता है, जो एपिटेक्सी परतों की उच्च गुणवत्ता वाली वृद्धि के लिए बहुत महत्वपूर्ण है। उच्च तापमान पर अशुद्धियों के वाष्पीकरण को रोकने के लिए वेटेक सेमीकंडक्टर इस उत्पाद की शुद्धता को सख्ती से नियंत्रित करता है। हमारे साथ आगे की चर्चा के लिए आपका स्वागत है।

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वेफर लिफ्ट पिन

वीटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी ईपीआई वेफर लिफ्ट पिन निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से ग्रेफाइट की सतह पर SiC कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। हम एपी प्रक्रिया के लिए ईपीआई वेफर लिफ्ट पिन प्रदान करते हैं। उच्च गुणवत्ता और प्रतिस्पर्धी मूल्य के साथ, हम चीन में हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका स्वागत करते हैं।

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Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।