उत्पादों
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टैंटलम कार्बाइड कोटिंग

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सामग्री का अग्रणी निर्माता है। हमारे मुख्य उत्पाद प्रस्तावों में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट्स, सीआईसी क्रिस्टल विकास या सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए सिंटेड टीएसी कोटिंग पार्ट्स शामिल हैं। ISO9001 पारित, VeTek सेमीकंडक्टर का गुणवत्ता पर अच्छा नियंत्रण है। वीटेक सेमीकंडक्टर पुनरावृत्त प्रौद्योगिकियों के चल रहे अनुसंधान और विकास के माध्यम से टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योग में प्रर्वतक बनने के लिए समर्पित है।


मुख्य उत्पाद हैंTaC लेपित गाइड रिंग, CVD TaC लेपित तीन पंखुड़ी वाली गाइड रिंग, टैंटलम कार्बाइड टीएसी लेपित हाफमून, CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग रिंग, टैंटलम कार्बाइड लेपित झरझरा ग्रेफाइट, TaC कोटिंग रोटेशन सुसेप्टर, टैंटलम कार्बाइड रिंग, TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट, TaC लेपित वेफर सुसेप्टर, TaC कोटेड डिफ्लेक्टर रिंग, सीवीडी टैसी कोटिंग कवर, TaC लेपित चकआदि, शुद्धता 5ppm से कम है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।


TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है। लाभ नीचे चित्र में दिखाया गया है:


Excellent properties of TaC coating graphite


टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग ने 3880°C तक के अपने उच्च पिघलने बिंदु, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल झटके के प्रतिरोध के कारण ध्यान आकर्षित किया है, जिससे यह उच्च तापमान आवश्यकताओं के साथ यौगिक अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाओं का एक आकर्षक विकल्प बन गया है। जैसे ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी सिस्टम और एलपीई सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया। इसका पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में भी व्यापक अनुप्रयोग है।


प्रमुख विशेषताऐं:

 ●तापमान स्थिरता

 ●अति उच्च शुद्धता

 ●H2, NH3, SiH4,Si का प्रतिरोध

 ●थर्मल स्टॉक का प्रतिरोध

 ●ग्रेफाइट पर मजबूत आसंजन

 ●अनुरूप कोटिंग कवरेज

 750 मिमी व्यास तक का आकार (चीन में एकमात्र निर्माता इस आकार तक पहुंचता है)


अनुप्रयोग:

 ●वेफर वाहक

 ● आगमनात्मक ताप संग्राहक

 ● प्रतिरोधक ताप तत्व

 ●सैटेलाइट डिस्क

 ●शावर का फव्वारा

 ●मार्गदर्शक अंगूठी

 ●एलईडी एपी रिसीवर

 ●इंजेक्शन नोजल

 ●मास्किंग रिंग

 ● हीट शील्ड


सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


वीटेक सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग का पैरामीटर:

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व 14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन 0.3
थर्मल विस्तार गुणांक 6.3 10-6/के
कठोरता (एचके) 2000 एच.के
प्रतिरोध 1×10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता <2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है -10~-20um
कोटिंग की मोटाई ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)


TaC कोटिंग EDX डेटा

EDX data of TaC coating


TaC कोटिंग क्रिस्टल संरचना डेटा:

तत्व परमाणु प्रतिशत
पं. 1 पं. 2 पं. 3 औसत
सी के 52.10 57.41 52.37 53.96
उन्हें 47.90 42.59 47.63 46.04


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TaC कोटिंग रिंग

TaC कोटिंग रिंग

TaC कोटिंग रिंग एक उच्च-प्रदर्शन घटक है जिसे सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है, VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग रिंग में उच्च तापीय स्थिरता, रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति है और इसका उपयोग विशेष रूप से नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान SiC वेफर्स को पकड़ने और समर्थन करने के लिए किया जाता है। जहां उच्च गुणवत्ता वाले वेफर्स प्राप्त करने के लिए सटीक नियंत्रण और स्थायित्व आवश्यक है। हम आपके आगे के परामर्श की प्रतीक्षा कर रहे हैं।
टीएसी कोटिंग क्रूसिबल

टीएसी कोटिंग क्रूसिबल

चीन में एक पेशेवर टीएसी कोटिंग क्रूसिबल आपूर्तिकर्ता और निर्माता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर की टीएसी कोटिंग क्रूसिबल अपनी उत्कृष्ट तापीय चालकता, उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और बढ़ाया जंग प्रतिरोध के साथ अर्धचालक के एकल क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में एक अपूरणीय भूमिका निभाती है। आपकी आगे की पूछताछ में आपका स्वागत है।
टैंटलम कार्बाइड लेपित गाइड रिंग

टैंटलम कार्बाइड लेपित गाइड रिंग

एक चीन के प्रमुख टीएसी कोटिंग गाइड रिंग सप्लायर और निर्माता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड कोटेड गाइड रिंग एक महत्वपूर्ण घटक है जिसका उपयोग पीवीटी (भौतिक वाष्प परिवहन) विधि में प्रतिक्रियाशील गैसों के प्रवाह को निर्देशित करने और अनुकूलित करने के लिए किया जाता है। यह गैस प्रवाह के वितरण और गति को समायोजित करके विकास क्षेत्र में एसआईसी एकल क्रिस्टल के समान बयान को बढ़ावा देता है। वेटेक सेमीकंडक्टर चीन और यहां तक ​​कि दुनिया में भी टीएसी कोटिंग गाइड रिंग्स के एक प्रमुख निर्माता और आपूर्तिकर्ता हैं, और हम आपके परामर्श के लिए तत्पर हैं।
टैंटलम कार्बाइड लेपित झरझरा ग्रेफाइट

टैंटलम कार्बाइड लेपित झरझरा ग्रेफाइट

टैंटलम कार्बाइड लेपित झरझरा ग्रेफाइट अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रिया में एक अपरिहार्य उत्पाद है, विशेष रूप से एसआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में। निरंतर आर एंड डी निवेश और प्रौद्योगिकी उन्नयन के बाद, वेटेक सेमीकंडक्टर के टीएसी लेपित झरझरा ग्रेफाइट उत्पाद गुणवत्ता ने यूरोपीय और अमेरिकी ग्राहकों से उच्च प्रशंसा जीती है। आपके आगे के परामर्श में आपका स्वागत है।
CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर

CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर

CVD TAC कोटिंग प्लैनेटरी SIC एपिटैक्सियल सूसोसेप्टर MOCVD प्लैनेटरी रिएक्टर के मुख्य घटकों में से एक है। सीवीडी टीएसी कोटिंग प्लैनेटरी एसआईसी एपिटैक्सियल सूसोसेप्टर के माध्यम से, बड़ी डिस्क ऑर्बिट्स और छोटी डिस्क घूमती है, और क्षैतिज प्रवाह मॉडल को मल्टी-चिप मशीनों तक बढ़ाया जाता है, ताकि इसमें उच्च-गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल वेवलेंथ मैनेजमेंट और सिंगल ऑप्टिमाइज़ेशन दोनों हैं। -चिप मशीनों और मल्टी-चिप मशीनों के उत्पादन लागत लाभ। यदि आप भी Aixtron की तरह एक ग्रह mocvd भट्ठी बनाना चाहते हैं, तो हमारे पास आओ!
टैक लेपित अंगूठी

टैक लेपित अंगूठी

चीन में टीएसी लेपित रिंग उत्पादों के एक प्रमुख निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर आर एंड डी और विभिन्न टीएसी कोटिंग उत्पादों के उत्पादन पर ध्यान केंद्रित कर रहा है। टीएसी कोटिंग उत्पादों के मुख्य ग्राहकों के रूप में, यूरोपीय और अमेरिकी निर्माताओं ने हमारे कोटिंग उत्पादों की उच्च प्रशंसा की है। आपके आगे के परामर्श में आपका स्वागत है।
चीन में एक पेशेवर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ टैंटलम कार्बाइड कोटिंग खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।
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