ग्रेफाइट घूर्णन समर्थन

वेफर सूससेप्टर एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया के लिए जरूरी है। एपिटैक्सियल ग्रोथ के दौरान, वेफर सब्सट्रेट को सूस्विनर में रखा जाता है। वेटेक सेमीकंडक्टर के उच्च-शुद्धता वाले ग्रेफाइट घूर्णन सूसोसेप्टर्स का उपयोग उच्च तापमान और उच्च वैक्यूम वातावरण के तहत सामग्री प्रसंस्करण उपकरणों में किया जाता है। गैलियम नाइट्राइड (MOCVD प्रक्रिया) के एपिटैक्सियल ग्रोथ में, वे सब्सट्रेट के रोटेशन में एक सहायक भूमिका निभाते हैं। Vetek सेमीकंडक्टर के घूर्णन ग्रेफाइट सूसप्लेर के निम्नलिखित फायदे हैं:

● उच्च शुद्धता: उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट घूर्णन करने वाले सूसियों में अशुद्धता सामग्री 5ppm से नीचे है। शुद्धता ग्रेफाइट का यह स्तर बयान प्रक्रिया की स्वच्छता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान पर अशुद्धियों की रिहाई से बच सकता है। इसलिए, कार्य आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए किसी भी कोटिंग की आवश्यकता नहीं है।

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट

● उत्कृष्ट थर्मल गुण: उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट में उत्कृष्ट तापीय चालकता है, और इसकी तापीय चालकता अन्य सामग्रियों की तुलना में बहुत अधिक है। थर्मल विस्तार गुणांक छोटा है और तापमान परिवर्तन का अनुभव करते समय स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकता है।

● अच्छे यांत्रिक गुण: उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट में अच्छा पहनने का प्रतिरोध और क्रूरता है, जो सीवीडी प्रक्रिया की जटिल आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।

● उत्कृष्ट चालकता: चालकता सामान्य गैर-धातु खनिजों की तुलना में एक सौ गुना अधिक है।

● रासायनिक स्थिरता: यह एसिड, अल्कलिस और कार्बनिक सॉल्वैंट्स से जंग का विरोध कर सकता है

इसके अलावा, चीन में एक प्रमुख निर्माता और उच्च शुद्धता ग्रेफाइट रोटेटिंग सूस्वियों के आपूर्तिकर्ता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर भी उच्च गुणवत्ता की आपूर्ति करता हैMOCVD के लिए SIC लेपित ग्रेफाइट सूस्विनर, सिसक कोटेड बैरल सूस्विनर, टीएसी लेपित ग्रेफाइट समर्थनऔरMocvd sic कोटिंग सूसोसेप्टर.वेटेक सेमीकंडक्टर अर्धचालक उद्योग के लिए उन्नत प्रौद्योगिकी और उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है, और अनुकूलित सेवाओं का भी समर्थन करता है। हम ईमानदारी से चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

यह अर्धचालकग्रेफाइट रोटेटिंग सूसप्लेर उत्पाद की दुकानें: